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真空机械手SRBZ820C-SMSX/G

关键字导读: ETCH PVD PECVD MOCVD MEMS

形貌:磁流体密封、网络化控制器、MCBF大于1000万次,SEMI认证S2,F47,逢迎个性化设想具有手臂长度、自由度可选,手指及接口用户可定制的特性,耐高温、耐侵蚀,静态纠偏和碰撞珍爱功用。

简介

Introduction

机械手接纳耐高温手指有隔热设想,可用于安排高温托盘,短时间耐高温300℃以上。指部、腕部灵便的设想理念低落了接触面的外面粗拙度,加大热阻。同时具有乐音小、振动小、运转安稳、精度高档特性。具有更敏捷的碰撞珍爱功用,有用珍爱机械手和客户晶圆。全新的轨迹计划,进步活动节奏,进步了用户产能。正在半导体前讲高端装备中普遍运用,鞭策了海内半导体产业链的前进,有用的支持了海内装备商的生长。

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参数

Parameter


构造情势Mechanical Structure柱坐标型/SCARA型 Cylindrical Coordinate/SCARA
密封体式格局Seal way磁流体密封Ferro-Fluidic Sealing
自由度数DOF2
负载Payload称号name托盘Tray
直径diameterΦ300mm
重量weight1.5kg

最大活动局限

Moving  Range
R轴(mm)R-Axis

立柱中央至R轴最大舒展处被搬运物体中央间隔820

Distance  from pillar center to  the moving objects  center of the biggest R-axis stretching is R820mm
θ轴(°)θ-Axis360

齐路程最小工夫

Minimum running time
R轴(s)R-Axis2.5
θ轴(s)θ-Axis3.5

反复定位精度

Repeatability
θ轴(°)θ-Axis±0.01(3σ)
R轴(mm)R-Axis±0.1(3σ)

重量Weight

机械手本体Main-body41kg
控制器Controller15kg
耐真空度Base Pressure (Pa)10­-5Pa
漏率leak rate<1*10E-8Mbar*L/s
碰撞珍爱Collision Protect Function盘片和机械手无毁伤Disc and robot without damage
隔热设想指部隔热块
承载温度300℃