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TTS-3000 EFEM

关键字导读: ETCH PVD PECVD MOCVD MEMS

形貌:一体化水平下,自动化水平下,安全区珍爱,SEMI认证S2、F47,网络化控制器,接口可用户定制……

简介

Introduction

新紧一向致力于供应半导体晶圆加工和其他庞大的制造情况所需的下机能、超清洁和久经考验的可靠性。公司胜利研发了真空传输平台,该平台是集成大气机器人,预瞄准机等部件的综合性产物,能够给客户供应晶圆传送的一体化计划。产物具有很强的适应性,以知足特定的运用需求。鞭策了海内半导体产业链的前进,有用的支持了海内装备商的生长。知足半导体制造商的希冀和要求。


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参数

Parameter


构造情势

Mechanical Structure Machine  Design reference standard

柱坐标型 SCARA

Cylindrical Coordinate/SCARA

驱动体式格局

Drive method User Interface Design reference standard

伺服机电servo motor

脚数目

Number of Arm

1
自由度数DOF4+1(内部轴)

活动局限

Moving  Range

起落轴Z -Axis330mm
回转轴T-axis330°
舒展轴R-axis待定
腕关节轴W-axis0—180°

活动速度

Moving  Speed
起落轴Z -Axis330mm/s(Maximum)
回转轴T-axis360°/s(Maximum)
舒展轴R-axis1000mm/s(Maximum)
内部轴external axis1200mm/s(Maximum)
腕关节轴W-axis180°/s
负载才能Payload300mm晶圆wafer
反复定位精度Repeatability±0.1mm
最大振动Max Vib±0.3g
置换重复性Displacement repetitive0.05mm
ARM程度度±0.15°/800mm
可靠性Reliability>100,000,000  MCBF