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TTS-2000 SORTER

关键字导读: ETCH PVD PECVD MOCVD MEMS

形貌:一体化水平下,自动化水平下,安全区珍爱,SEMI认证S2、F47,网络化控制器,接口可用户定制,具有新紧自立研发的控制器,Aligner,轻易正在视窗视察的可拆卸单元门,易挪动框架,带有断绝的电扇 过滤体系,可拆分的装备构造,从而包管装备清洁、牢靠的运转……

简介

Introduction

SORTER是一个工场质料传输装备,是一个取SEMI尺度兼容的界面体系,能够手动大概合营AGV或OHT的承载程度传输晶圆。该体系供应单线接口供工场掌握,丰裕的传输间距取工场交互和简朴的体式格局供野生效劳。占地面积小,接纳无X轴的双臂机械手,经由过程单轴复合活动实现取放片,极大的进步了传片效力的同时而又低落了产物保护本钱。内部全新的气体导流构造,包管内部空间清洁度可以或许知足iso class 1级别,包管晶圆传输历程的清洁度。内部带有多重互锁珍爱,从软件到硬件,多重包管晶圆传输历程中的平安,职员取装备的平安。


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参数

Parameter


整机设想参照尺度

Machine  Design reference standard
SEMI S1-701;SEMI S2-1102;SEMI S7-96;SEMI S8-701;SEMI S9-1101;SEMI S10-1296;SEMI S13-298;SEMI E15-698;SEMI S11-1296;SEMI E54-997;SEMI E58-301;SEMI F47-400

软件界面设计参考尺度

User  Interface Design reference standard
SEMI E30, E84, E87, E90, E40, E94, E99, E118, E116
生产量Throughput>150wfrs/h
颗粒规格Particle SpecClass  1
Wafer安排精度Placement accuracy X-Y±0.1mm
晶圆尺寸Wafer size300mm
平台尺寸(L×W×H)1120mm×662mm×1923mm
重量Weight≤500KG